较薄可测试0.005um
较多可测试层数5层
原理X荧光光谱
检测器类型SDD探测器
算法FP基本参数
涂/镀层厚度测量相关参考标准
GB/T 6462-2005 金属和氧化物覆盖层厚度测量显微镜法
GB/T16921-2005 金属覆盖层 覆盖层厚度测量 X射线光谱法
ASTM B487-1985(2007) 用横断面显微观察法测定金属及氧化层试验方法
ASTM B748-1990(2010) 通过用扫描电子显微镜测量横截面来测量金属涂层厚度的试验方法
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