较薄可测试0.005um
较多可测试层数5层
原理X荧光光谱
检测器类型SDD探测器
算法FP基本参数
满足各种不同厚度样品以及不规则表面样品的测试需求
φ0.1mm的小孔准直器可以满足微小测试点的需求
高精度平台可定位测试点,重复定位精度小于0.005mm
采用高度定位激光,可自动定位测试高度
定位激光确定定位光斑,确保测试点与光斑对齐
鼠标可控制平台,鼠标点击的位置就是被测点
高分辨率探头使分析结果加
良好的射线屏蔽作用
测试口高度敏感性传感器保护
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