较薄可测试0.005um
较多可测试层数5层
原理X荧光光谱
检测器类型SDD探测器
算法FP基本参数
镀层测厚仪:
型号:THICK600
分析范围: Ti-U,可分析高3层15个元素
分析厚度:一般0.05-30um(不同元素厚度有所不同)
工作电压:AC 110V/220V(建议配置交流净化稳压电源)
测量时间:40秒(可根据实际情况调整)
探测器分辨率:(160±5)eV
光管高压:5-50kV
管流:50μA-1000μA
环境温度:15℃-30℃
环境湿度:30%-70%
准直器:配置不同直径准直孔,小孔径φ0.2mm
仪器尺寸:610(L) x 355 (W) x 380(H) mm
仪器重量:30kg
http://rohsyiqi.b2b168.com